靶材的用途十分广泛,应用于电脑显示器,微电子领域,硬盘储存。靶材材料可分为金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材。在生产这些靶材材料过程中,工厂需要进行严格的品质要求控制,一般来说,影响靶材性能的因素有很多。其中,密度是影响靶材性能关键因素之一。所以,这就要用到专业检测仪器-靶材密度测试仪DH-10G。
靶材密度作用:为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。